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集成光电子芯片
连续波调频外腔窄线宽激光器:自主知识产权的外腔方案、自主可控的平台加工能力,可根据客户需求定制工作波段和调谐范围,提供高精度感知系统的高质量光源产品和解决方案。薄膜铌酸锂高速电光调制芯片:自主知识产权的低成本工艺方案,自主可控的平台加工能力,可提供薄膜铌酸锂高速电光调制芯片或模块产品,同时也可为客户提供定制化的薄膜铌酸锂芯片加工和测试服务。
微光学/衍射光学器件
各种球透镜阵列、柱透镜阵列、随机微透镜阵列器件结构定制化加工;各种多台阶衍射光学结构(DOE)器件结构定制化加工。随机微透镜阵列激光匀化片柱透阵列。
超构表面器件
激光直写加工最小加工尺寸300nm;纳米压印最小结构压印50nm;电子束最小加工精度30nm。最大加工尺寸:8寸;加工材料:金属(金、银等)、介电材料(非晶硅、氮化硅、氧化钛等)、高阻体硅等多种材料;典型应用:偏振控制与成像、红外和太赫兹探测、光学信息处理、传感与检测、全息显示。
光栅器件
衍射光栅、反射光栅、折射光栅、斜倾光栅等。加工方式:采用电子束光刻(EBL)、纳米压印、激光直写等加工技术。加工精度:最小加工精度电子束30nm,激光直写300nm,纳米压印结构压印50nm。
高阈值光场调控器件
可针对光场调控需求进行定制化服务,通过超快激光在石英内部刻写双折射结构进行光场调控。可实现涡旋波片,平板锥透镜、超透镜、完美涡旋光产生器、全息器件、艾里贝塞尔光束转换器、偏振探测器、超宽带消色差波片等器件的制备,在紫外/可见/近红外波段具有高透过率和高激光损伤阈值。
联系方式
地址:四川省天府新区科智路999号
(天府兴隆湖实验室)
邮箱:tfxlll@xlll.cn
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